Wirtschaftsspiegel Thüringen - Ausgabe 01/2014 - page 18

Auflösung bis 20 pm
Messbereiche bis 80 m
Lichtwellenleitergekoppelt
LASERINTERFEROMETER
LWL - gekoppeltes Dreistrahl-Interferometer
Serie SP-TR
LWL - gekoppeltes Laserinterferometrisches Vibrometer
Serie LSV
SIOS Meßtechnik GmbH  Am Vogelherd 46  98693 Ilmenau  Tel.: 03677-64470  www.sios.de
für hochgenaue Längen-
und Winkelmessungen
Ein-, Zwei- und Dreistrahlinterferometer mit
Planspiegel- oder Tripelspiegelreflektoren zur
hochpräzisen Längenmessung
Differenz- und Weitbereichs-Interferometer
Anwendungen:
- Simultane Messung mehrerer Freiheitsgrade
- Einbaumesssystem für hochpräzise Maschinen
- Kalibriersystem für die Messtechnik, den
Maschinenbau, die Halbleiterindustrie und
F & E-Anwendungen
Einstrahlprinzip für Abbefehlerfreie Mess-
anordnungen
für Schwingungsmessungen
Präzise und berührungslose Messung
auf beliebigen Oberflächen
Frequenzbereich bis 5 MHz
Maximale Objektgeschwindigkeit 1,5 m/s
Anwendungen:
- Ermittlung von Schwingungsspektren
- Bestimmung von Schwingungsformen und
Eigenfrequenzen an Makro- und Mikroobjekten
- Messungen des dynamischen Verhaltens
von Mikrostrukturen, MEMS und Cantilevern
- Vermessung von Durchbiegungen an
Mikrobauteilen und Membranen
Precision in Measurements
Längenauflösung • 20 pm
Winkelauflösung • 0,002 arcsec
hochauflösend und hochgenau
Längenauflösung 20 pm
Arbeitsabstand variabel 240 ... 2500 mm